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產(chǎn)品參數(shù) 能夠避免操作失誤情況的出現(xiàn)

·         研究級材料顯微鏡，適合晶圓、電子元器件、金屬、陶瓷、高分子

        材料、粉塵顆粒等樣品觀察分析，多種安全設(shè)計，保護(hù)晶圓，鏡頭

         及觀察者

·         模塊化設(shè)計，可實現(xiàn)透、反射觀察

·         復(fù)消色差光路，整體光路支持25mm視野直徑

·         6孔位電動物鏡轉(zhuǎn)盤，配接直徑32mm長工作距離物鏡，物鏡轉(zhuǎn)盤帶

        編碼，可在不同倍數(shù)的物鏡下自動加載相應(yīng)倍數(shù)的比例尺

·         8 X 8大樣品臺，可實現(xiàn)8寸晶圓的直接觀察

·         內(nèi)置手動/電動調(diào)焦系統(tǒng)

·         獨有的0.7X宏觀物鏡，具有晶圓檢查功能

·         可提供全自動明場、暗場、偏光、微分干涉、斜照明等觀察方式

·         機身內(nèi)置LED透、反射照明光源，智能光強變化的控制照明方式

·         可選配UV光源，提高分辨率至亞微米結(jié)構(gòu)，UV由大功率的LED產(chǎn)

        生，具有UV和OUV功能

·         可自動記憶不同物鏡與觀察方式下的光強，光闌及聚光鏡的組

       合，自動恢復(fù)到位，操作簡單快速

·         光強，光闌，觀察方式和聚光鏡調(diào)節(jié)除了按鍵控制外，還可由計算

        機控制

·         可連接晶圓搬送機進(jìn)行連續(xù)工作

·         可配接攝像頭觀察和采集圖像，并提供專業(yè)分析軟件

·         可配接高溫?zé)崤_、熒光光源、陰極發(fā)光儀、光度計等

產(chǎn)品特點

·         適用于所有觀察方法的 LED 照明系統(tǒng)，LED 不會產(chǎn)生熱量，以此保

         護(hù)樣本。色溫穩(wěn)定，確保得出真實的可再現(xiàn)分析結(jié)果

·         利用 0.7X 的全景物鏡，能夠獲得對樣本表面的快速總覽

·         高分辨率暗場 (HDF)，為您呈現(xiàn)更多細(xì)節(jié)

·         UV和OUV觀察方式進(jìn)一步提高了橫向分辨率和縱向分辨能力

·         軟件強大的專業(yè)分析功能，包括晶粒度分析、相分析、鑄鐵分析、

         脫碳分析、夾雜物分析和清潔度分析